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復(fù)雜三維微納結(jié)構(gòu)在微納機(jī)電系統(tǒng)、生物醫(yī)療、組織工程、新材料、新能源、高清顯示、微流控器件、微納光學(xué)器件、微納傳感器、微納電子、生物芯片、光電子和印刷電子等領(lǐng)域有著巨大的產(chǎn)業(yè)需求, 然而現(xiàn)有的各種微納制造技術(shù)無(wú)論從技術(shù)層面還是在生產(chǎn)率、成本、材料等方面還難以滿(mǎn)足高效、低成本批量化制造復(fù)雜三維微納結(jié)構(gòu)的工業(yè)級(jí)應(yīng)用的需求。高效、低成本批量化制造復(fù)雜三維微納結(jié)構(gòu)(尤其是大面積復(fù)雜三維微納結(jié)構(gòu))一直被認(rèn)為是一項(xiàng)國(guó)際化難題, 也是當(dāng)前國(guó)際上學(xué)術(shù)界和產(chǎn)業(yè)界的研究熱點(diǎn),以及亟待突破的瓶頸問(wèn)題。 隨著高端制造和微納科技的迅猛發(fā)展,為了滿(mǎn)足航空航天、生物醫(yī)療、組織工程、微納機(jī)電系統(tǒng)等不同領(lǐng)域和行業(yè)的需求,近年國(guó)內(nèi)外研究人員已經(jīng)開(kāi)發(fā)出多種類(lèi)型微納尺度三維制造工藝、打印材料和裝備, 并應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域和行業(yè)。基于不同成型原理、打印材料、分辨率等因素,微納尺度三維制造可大致劃分為: 微立體光刻; 基于雙光子聚合激光直寫(xiě);電噴印;微激光燒結(jié)；電化學(xué)沉積;噴墨打印、氣溶膠噴射打印、微三維打印(噴射粘結(jié))等。 由于樹(shù)脂材料的黏度、表面張力等因素的影響,最小涂層厚等因素的限制;以及微立體光刻固化是基于單光子吸收聚合固化的本質(zhì)特性,微立體光刻目前能達(dá)到的分辨率是在微尺度范圍, 如果進(jìn)一步提高微立體光刻的分辨率,實(shí)現(xiàn)亞微尺度和納尺度結(jié)構(gòu)制造將面臨巨大的挑戰(zhàn)。 目前本項(xiàng)目大量研究工作聚焦在進(jìn)一步提高效率、分辨率以及降低成本, 這對(duì)于基于雙光子聚合激光直寫(xiě)三維微納光刻的實(shí)際商業(yè)化應(yīng)用非常重要。本項(xiàng)目的主要研究?jī)?nèi)容為（1）研發(fā)、制造以多光子聚合技術(shù)為基礎(chǔ)的納米三維光刻系統(tǒng)，其具有高速度、超分辨、大范圍、低成本的特點(diǎn)，并包括有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的相關(guān)硬件設(shè)備和軟件的開(kāi)發(fā)。（2）開(kāi)發(fā)不同系列適用于微納三維制造，基于多光子聚合原理的光敏材料。 【展開(kāi)】 【收起】